专利摘要:
本発明は、−分離手段によって切り離されている第1のチャンバと第2のチャンバ、−製品を入口から出口へこれらのチャンバを通して案内するコンベヤー手段、−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度をそれぞれ個別に制御する温度制御手段、並びに、−分離手段に設けられた通路であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバから第二のチャンバへ向かう通路、を有するオーブン。なし
公开号:JP2011516088A
申请号:JP2011504376
申请日:2009-04-16
公开日:2011-05-26
发明作者:クエネン,ヘンドリクス,アントニユス,ヤコブス
申请人:セーエフエス・バケル・ベー.フェー.;
IPC主号:A21B1-46
专利说明:

[0001] 本発明は、
−分離手段(2)によって切り離されている第1のチャンバ(3)と第2のチャンバ(4)、
−製品(product)を入口(10)から出口(12)へこれらのチャンバ(3、4)を通して案内するコンベヤー手段(7)、
−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度を個別に制御する温度制御手段(15-19、22-66、27、28)、並びに、
−分離手段(2)に設けられた通路(2.1)であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバ(3)から第二のチャンバ(4)へ向かう通路(2.1)、
を有するオーブンに関する。
本発明はさらにこのオーブンを運転する方法に関する。]
背景技術

[0002] このタイプのオーブンが例えばEP1221 575(特許文献1)そしてEP 0558151A(特許文献2)から知られていて、食べられるプロダクト、特にチキン、ハンバーガー名人の料理などのような蛋白含有プロダクトの完全な又は部分的な調理に適している。上で言及された特許出願はここに参考文献として引用して含まれる。したがって本願の開示の一部である。温度と湿度は、該オーブン中での滞留時間—コンベヤーベルトの長さと速度に依存する—の間に、望ましい調理と、もし必要なら、色着けが行われるように設定することができる。]
[0003] さらに、現技術水準で知られているオーブンは2つのチャンバから構成される、そしてそれらはパーティションの壁によって切り離されている。コンベヤーベルトは第1のチャンバからパーティションの壁に開口を経由している第2のチャンバへ移動する。それぞれのチャンバそれ自身の加熱手段と換気手段を有していて、各チャンバ内でそれぞれに異なった温度、湿度及び/又は流体流の条件を設定することができる。しかしながら、従来技術のオーブンでの調理プロセスはしばしば安定せず、及び/又は再現性がない。]
先行技術

[0004] EP1221 575
EP 0558151A]
発明が解決しようとする課題

[0005] そこで本発明の目的は、安定していて、それぞれのチャンバ内に再現可能なプロセス条件をもたらすオーブン及び方法を提供することである。]
課題を解決するための手段

[0006] この問題は、−分離手段によって切り離されている第1のチャンバと第2のチャンバ、
−製品を入口から出口へこれらのチャンバを通して案内するコンベヤー手段、
−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度を個別に制御する温度制御手段、
−分離手段に設けられた通路であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバから第二のチャンバへ向かう通路、並びに、上記二つのチャンバ間での流体漏れを低減し及び/又は制御する手段を有するオーブン
により解決される。]
[0007] 流体漏れの減少により、各チャンバ内でのプロセス条件、例えば温度、湿度及び/又は流動パターンを大変うまく制御することができ、そしてそれで再現性のある条件を確立することができる。本発明のオーブンは容易に運転される。抑制された漏れによって、個々のチャンバのプロセス条件に影響を与えることができる。
主題である「流体の漏れを制御する」とは、第1のチャンバから第2のチャンバへ、又は、その逆方向への漏れの大きさ及び/又は方向を制御することを意味する。]
図面の簡単な説明

[0008] 請求項1の前文に係るオーブンを示す。
本発明のオーブンの1実施形態を示す。
通路の近傍での流体流の注入の詳細を示す。
図3による注入をさらに詳細に示す。
制御された換気の例を示す。
制御された換気の例を示す。
制御された換気の例を示す。
通路30を経由する制御された換気の別の例を示す。
通路30を経由する制御された換気の別の例を示す。] 図3
[0009] 本発明のオーブンは1番目と第2のチャンバを備え、これらは分離手段、例えばパーティションによって切り離されている。本発明のオーブンはさらに製品を入口から出口へこれらのチャンバの中を通して導くコンベヤー手段を有する。コンベヤー手段は好ましくはエンドレスのコンベヤーベルトである。分離手段には、それを通してコンベヤー手段が第1のチャンバから第2のチャンバへと向かわせられる通路がある。ところで、今、それぞれのチャンバの異なる条件のために、及び/又はコンベヤー手段の動きのために、プロセスガス、例えば空気及び/又はプロセス蒸気の制御されていない漏れが二つのチャンバ間で起こり、その大きさ及び方向は予想できないことがわかった。この漏れのために、プロセスパラメータは予測できない影響を受け、時に、制御できない条件をもたらして、調理プロセスを再現不可能なものにする。]
[0010] 本発明によれば、該オーブンは2つのチャンバの間のプロセス流体の漏れを低減し、好ましくは除去し、及び/又は制御する手段を有する。]
[0011] 望ましい実施形態では、2つのチャンバの間のプロセス流体の漏れを低減し、好ましくは除去し、及び/又は制御する手段は、通路の近傍に導入される、好ましくは注入される流体流である。好ましくは、該流体流の体積流量及び/又はその圧力は調節可能である。流体流は周囲から及び/又は二つのチャンバの1つ又は両方からとることができる。]
[0012] 流体流の導入により通路の近傍での圧力は第1の及び/又は第2のチャンバ内の圧力より高いことが好ましく、そのためにチャンバの一つから他方のチャンバへのプロセス流体の漏れは起こらない。]
[0013] 好ましくは、流体流は通路から第1のチャンバに向かって流れる第1の部分と、通路から第2のチャンバに向って流れる第2の部分に分けられる。該流体流を増加させることによって、1方又は両方のチャンバへの体積流量もまた増やされる。逆もまた同様である。流体流の分割は、例えば、第1のチャンバそして第2のチャンバでの圧力レベルに依存する。しかしながら、流体流をどのように分けるかの比率を制御することも可能である。これは、例えば、1つ以上の弁で行うことができる。どちらのチャンバからより大量の流体をとるかを選択することによって、流れの方向に影響を与えることもできる。]
[0014] 本発明の好ましい一実施形態では、これらのチャンバに向う流れの少なくとも一つは、パーティションの近傍でガイド手段によって案内される。このガイド手段は、例えば、該通路から第一の及び/又は第二のチャンバから延びるトンネル又はチューブ(管)でもよい。前記の流体流はこのガイド手段(好ましくは中央にある)に導びかれ、次いで第一チャンバに向って流れる第一の部分と第二チャンバへ向って流れる第二部分に分けられる。]
[0015] 通常、各チャンバは少なくとも一つのファンと該チャンバ内の流体流、特に流体循環、のためのダクト(duct)を有し、それぞれ、該チャンバ内の温度及び/又は湿度を調節し、ならびに/あるいは、該チャンバ内の熱移動を改善する。この主たる流体流から、該通路における漏れを減らし又は制御するために、該流体流は分離されることが好ましい。好ましくは、該オーブンは、どちらのチャンバから流体をとるか、体積流量及び/又は両チャンバ間での流体流の分離を制御する手段を有する。本発明のこの好ましい実施形態には、調理プロセスをどの場合でも同一条件下で行うことができるという利点がある。さらに、該オーブンは、該通路の回りにおいて漏れはまったく起らないか、最小限しか若しくは制御された漏れしか起らないように運転することができる。]
[0016] 該制御手段は手動で又は自動式で調節可能である。好ましくは、該制御手段は例えばPLC−コントローラにより自動式で調節される。PLC-コントローラはプロセスについての情報を受け取り、例えば、流れを調節して自動的に漏れを減らすか又は制御する。さらに、流体が通路の近傍に注入された後、PLC-コントローラは流体がどのチャンバからとられるか、及び/又はそれがどのように分割されるかを制御することができることが好ましい。例えば、1つのチャンバの流体の循環スピードがたとえば熱伝達を改善するために増加される場合には、該チャンバ内の圧力が増加する。このことは従来技術では漏れの増加をもたらした。本発明によれば、しかしながら、この漏れを減らし又は制御する流体流を調節することによって、チャンバ間の漏れは望ましいレベルに減少及び/又は制御することができる。]
[0017] 本発明の新しい又は望ましい実施形態によれば、該オーブンは第1のチャンバ、第2のチャンバ及び/又は周囲の間に制御された換気手段を有する。この実施形態は、他のチャンバ又は周囲からのプロセス流体を用いる、1つのチャンバの制御された換気によって該チャンバ内のプロセスパラメータを調節することを可能にする。仮に、例えば、第1のチャンバが第2のチャンバよりも高い温度及び/又は湿度で運転される場合には、プロセス流体、例えば空気、を第2のチャンバから第1のチャンバに換気することができるが、プロセスパラメータが第1のチャンバの中であまりにも高く、逆に同様にプロセスパラメータが第2のチャンバの中であまりにも低い場合である。仮に、例えば、第2のチャンバのプロセス条件が設定ポイントの上にあるなら、空気が周囲から第2のチャンバに引き入れることができる。この制御された換気は所望のプロセス条件が達成されるとすぐに低減されるか停止される。このすべてをファン、通路及び/又は追加の換気手段によって行うことができる。この制御された換気は自動コントローラ、例えばPLC-コントローラによって実施されることが好ましい。]
[0018] 上述した開示は下に開示する実施形態にも当てはまる。]
[0019] 本発明の別の実施形態は、
−分離手段によって切り離されている第1のチャンバと第2のチャンバ、
−製品を入口から出口へこれらのチャンバを通して案内するコンベヤー手段、
−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度をそれぞれ個別に制御する温度制御手段、並びに、
−分離手段に設けられた通路であって、それを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバから第二のチャンバへ向かう通路、
を有するオーブンの運転方法であって、
流体流を通路の近傍に注入して第1のチャンバと第2のチャンバ間での流体漏れを低減する方法である。]
[0020] 本発明のさらに別の実施形態は、
−分離手段によって切り離されている第1のチャンバと第2のチャンバ、
−製品を入口から出口へこれらのチャンバを通して案内するコンベヤー手段、
−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度をそれぞれ個別に制御する温度制御手段、並びに、
−分離手段に設けられた通路であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバから第二のチャンバへ向かう通路、
を有するオーブンの運転方法であって、
少なくとも1つのチャンバ内のプロセスパラメータを調節するために、第1のチャンバ、第2のチャンバ及び/又は周囲との間での漏れを制御する、オーブンの運転方法である。]
[0021] 漏れの方向は、第1のチャンバから第2のチャンバへ、及び/又はより高い圧力のチャンバからより低い圧力のチャンバへ、であり得るし、その逆もあり得る。]
[0022] 漏れのために、周囲空気が第1の及び/又は第2のチャンバ内に導入されることはあり得る。]
[0023] 本発明を添付の図面に従って以下さらに詳細に説明する。これらの説明は保護の範囲を限定するものではない。]
[0024] 図1が従来技術によるオーブンを示す。オーブン1は第1のチャンバ3と第2のチャンバ4に分けられている。チャンバはパーティション2の手段によって分割されている。回転できるドラム5、6がこれらのチャンバのおのおのに配されており、その周りにコンベヤーベルト7が2つのらせん形の経路8、9に沿って誘導されている。エンドレスコンベヤーベルトは、まっすぐなコンベヤーベルトセクション11によって入口10を経由してオーブン1に入り、そして同様にまっすぐなセクション13によって出口12を経由して該オーブン1から出る。らせん形のセクション8、9はまっすぐなコンベヤーベルトセクション14によって連結される、それは上面に載置されている。パーティション手段2はベルトセクション14のために通路2.1を有する。この通路2.1はコンベヤーベルト14より大きい。プロセス-流体、例えば、空気や水蒸気、の漏れ33はこの通路で起こることがわかった。この漏れの流れは予想不可能である。内部の及び外部の条件がこの漏れ流れの大きさ及び/又は方向に影響を与える可能性があり、そのためにオーブン内のプロセス条件はしばしば再現可能ではない。] 図1
[0025] 全体を15、19、27、28によって示される加熱手段が、ハウジングの上に配置される。これらの加熱手段15、19、27、28はおのおの渦形室17にファン16、22を備え、該渦形室はダクト18、23−25に開口している。加熱エレメント34はそれぞれこれらのダクトに位置している。プロセス流体、例えば空気や蒸気、はチャンバ3、4からファンによって吸い上げられ、そして、それぞれ、渦形室17を経由してダクト中に押し込まれる。プロセス流体31、32は加熱エレメント34を通過して流れ、それからそれぞれのチャンバ3、4に再導入される。オーブンで料理される(図示せず)製品の動きは矢29によって示される。]
[0026] 図2は本発明のオーブンを示し、これは通路2.1にガイド手段30をチューブ又はトンネルのかたちで備えている。このチューブの中に、好ましくはその中央に、空気流26が注入されるが、これはチューブ30内により高い圧力をもたらす。このより高い圧力は空気26を第1のチャンバ3に向かって左へ流れさせ、また、第2のチャンバ4に向かって右へ流れさせる。空気流26の大きさは、漏れがゼロに低減されるか、または望ましい大きさと望ましい方向を有するように、制御可能であることが好ましい。チューブ30内の流れ26の分割も制御されることが好ましい。] 図2
[0027] 図3は、チューブ30の中への流体注入をさらに詳しく示す。Yの形をしたダクト20の両方の枝20.1、20.2はそれぞれダクト23、24に接続される。ダクト23、24はそれぞれプロセス流体31、32をチャンバ3、4、にリサイクルする。ダクト20に、弁21が配置され、これによりプロセス流体がチャンバ3、4のどちらからとられるかを制御することが可能になる。図3に示されるように、これらの弁の位置で、全空気がチャンバ3から取り出される。空気流26が弁21を通過した後、Y形ダクト20のベース20.3内へ流れ、そこからチューブ30に注入され、そこで、流れ26.1及び26.2に分けられ、それらはそれぞれチャンバ3、4の中に流入する。弁21が流れ26の大きさを制御することを可能にする。弁21のセットは手作業で、又は自動的に、例えばPLC-コントローラによって行うことができる。このPLCコントローラは弁21を調節するが、該弁21は望ましいプロセス条件及び/又は個別のチャンバの温度及び/又は湿度のような測定されるパラメータに基づいて、特に該通路での望ましい漏れに基づいて、モーターによって運転される。さらに、本発明のオーブンは空気流26の分割を調節する手段を有することができるが、この手段はチューブ30内に配置されることが好ましい。] 図3
[0028] 図4が弁21を詳細に示す。] 図4
[0029] 図5が第1のチャンバ3と第2のチャンバ4の間での制御された漏れの例を示す。第1のチャンバ3は第2のチャンバ4より、より高温及び/又はより高い湿度において運転される。チャンバ3での温度及び/又は湿度が望ましい設定ポイントの上にある場合には、矢33によって示されるように、第2のチャンバから第1のチャンバへの制御された漏れ33が開始される。この漏れは第1のチャンバのプロセス条件が望ましい範囲になるまで維持され、その後再び停止される。漏れ33が起きる場所は通路2.1でよいが、2つのチャンバの間の流体連絡部のいずれの箇所でもよい。2つのチャンバの間の制御された漏れの開始と維持は、第1のチャンバ3での圧力を減らすことにより、及び/又は第2のチャンバ4で圧力を増やすことによって行うことができる。チャンバ3での圧力の低下は、該チャンバから例えば入口10を介して空気を取り除くことによって実施することができる。同様に、空気を例えば出口12を介してチャンバ4の中押し込むことによってその圧力を増すことができる。代わりに、又は追加的に、チャンバ4から空気を例えばファンによってチャンバ3内へ押し込むことができる。] 図5
[0030] 図6は、第1のチャンバ3と第2のチャンバ4の間の制御された漏れの別の例を示す。第1のチャンバ3は第2のチャンバ4よりも高温及び/又は高い湿度において運転される。チャンバ4での温度及び/又は湿度が望ましい設定ポイントを下まわってある場合には、第1のチャンバから第2のチャンバへの制御された漏れ33が矢印33によって示されるように開始される。この漏れは第2のチャンバのプロセス条件が望ましい範囲になるまで維持され、その後停止される。漏れ33が起きる場所は通路2.1でよいが、2つのチャンバの間の流体連絡部のいずれの箇所でもあり得る。2つのチャンバの間の制御された漏れの開始と維持は、第1のチャンバ3での圧力を増加することにより、及び/又は第2のチャンバ4で圧力を減らすことによって行うことができる。チャンバ4での圧力の低下は、該チャンバから例えば出口12を介して空気を取り除くことによって実施することができる。同様に、空気を例えば入口10を介してチャンバ3の中に押し込むことによってその圧力を増すことができる。代わりに、又は追加的に、チャンバ3から空気を例えばファンによってチャンバ4内へ押し込むことができる。] 図6
[0031] チャンバ3、4の一方又は両方での温度及び/又は湿度を制御するために、周囲からの又は周囲への漏れを制御することも可能である。この漏れは2つのチャンバ3、4の間での漏れと組み合わせることができる。]
[0032] 周囲への制御された漏れを図7に矢印35により示す。周囲への制御された漏れは、これらのチャンバの1つ又は両方でのパラメータを調節するために、及び/又は2つのチャンバの間の制御された漏れを達成するために利用することができる。当業者は、漏れ35が入口又は出口において起きる必要がないことを理解する。] 図7
[0033] 1つのチャンバが周囲と空気の交換を行うが、二つのチャンバの間の漏れは望まれない場合には、それは上述したように流体流26によって抑制することができる。]
[0034] 図8と図9は2つのチャンバ3、4及び/又は周囲36との間での制御された換気の別の実施形態を示す。図8の例では、チャンバ4内の圧力はチャンバ3内の圧力より低い。流体流×がチャンバ4から引き出され、通路2.1内のガイド手段30に導かれ、そこで、チャンバ4に流れ戻る流体流zと、チャンバ3の方向に流れる流体流yに分割される。ガイド手段30—ここに流体流xが導入される—内の圧力はチャンバ3及び4それぞれよりも高い。漏れの方向は矢印33で示される。この漏れ33—流体流yと等しい—のために、量的バランスを維持するべく、同量の流体流が周囲36からチャンバ4へ導入されなければならず、そしてチャンバ3から周囲へと吹き出されなければならない。図8のプロセスによって、湿度と温度がチャンバ4内よりもチャンバ3内でより高い場合には、チャンバ3と4で温度及び/又は湿度を減らすことはできる。当業者は、空気流xが分割される比率は、チャンバ3内と4内の相対的圧力レベルによって調節することができることを理解する。] 図8 図9
実施例

[0035] 図9は図8のオーブンを示す。しかしながら、この場合チャンバ3での圧力はチャンバ4で圧力より低い。この場合、流体流xはチャンバ3から取り出されガイド手段30内へ導かれるが、そこでは圧力がチャンバ3及び4内よりも高い。ガイド手段30で、流体流xは、チャンバ3に流し戻される部分yと、チャンバ4に流れる部分zに分割される。この場合、漏れ33はチャンバ3からチャンバ4へ向かわされ、流体流zになる。それで、同量zが周囲から取り出されてチャンバ3に導入され、そしてチャンバ4から周囲36へ吹き出される。図9のプロセスは、チャンバ3での湿度及び/又は温度を低下させ、そして、チャンバ4での温度と湿度を高めるのに利用されるが、但し、温度及び湿度はそれぞれチャンバ4においてよりもチャンバ3においてより高い。] 図8 図9
[0036] 1オーブン
2 分離手段、パーティション
2.1 第1のチャンバから第2のチャンバへの通路
3 第1のチャンバ
4 第2のチャンバ
5ドラム
6 ドラム
7コンベヤー手段、コンベヤーベルト
8らせん形セクション、第1のチャンバ
9 らせん形セクション、第2のチャンバ
10 入口
11 まっすぐなコンベヤー手段
12出口
13 まっすぐなコンベヤー手段
14 コンベヤー手段接続セクション
15温度制御手段、加熱手段
16ファン
17渦形室
18 エア・ダクト
19 温度制御手段
20Y形エア・ダクト
20.1 左の分枝
20.2 右の分枝
20.3ベース
21 制御手段、流量調節弁
22 ファン
23 エア・ダクト
24 エア・ダクト
25 エア・ダクト
26空気流
26.1 第1のチャンバへの空気流
26.2 第2のチャンバへの空気流
27温度調節手段
28 温度調節手段
29輸送方向
30ガイド手段
31チャンネル23内の流体流
32 チャンネル24内の流体流
33 通路での漏れ
34加熱エレメント
35 周囲から又は周囲への漏れ
36 周囲
x 1つのチャンバから取り出された流体流
y 流れの方向、第1のチャンバ3への流体流
z 流れの方向、第2のチャンバ4への流体流
++ より高い圧力
−− より低い圧力]
权利要求:

請求項1
−分離手段(2)によって切り離されている第1のチャンバ(3)と第2のチャンバ(4)、−製品を入口(10)から出口(12)へこれらのチャンバ(3、4)を通して案内するコンベヤー手段(7)、−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度を個別に制御する温度制御手段(15-19、22-66、27、28)、−分離手段(2)に設けられた通路(2.1)であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバ(3)から第二のチャンバ(4)へ向かう通路(2.1)、上記二つのチャンバ(3、4)間での流体漏れを低減し及び/又は制御する手段(20.1−20.3、26、30)を有するオーブンにおいて、前記の手段(20.1−20.3、26、30)が通路(2.1)の近傍に導入される流体流(26)であることを特徴とするオーブン(1)。
請求項2
前記の流体流が、第1のチャンバ(3)に向かって流れる第1の部分(26.1)と第2のチャンバ(4)に向かって流れる第2の部分(26.2)とに分けられる請求項1に係るオーブン。
請求項3
前記の流れ(26.1、26.2)がガイド手段により、パーティション(2.1)の近傍で案内される請求項1又は2に係るオーブン。
請求項4
それぞれのチャンバ(3、4)がファン(16、22)と流体流(31、32)のための管(18、24)を有すること、そして、流体流(26)が1本以上の管(23、24)から出る流体流(31、32)から分離されること、を特徴とする請求項1−3のいずれか1項に係るオーブン。
請求項5
流体流(26)を制御する制御手段(21)を有することを特徴とする請求項4に係るオーブン(1)。
請求項6
該制御手段が、手作業で、及び/又はPLC-コントローラによって調節される請求項5に係るオーブン(1)。
請求項7
第1のチャンバ(3)、第2のチャンバ(4)及び/又は周囲との間に、制御された換気手段を有することを特徴とする、先行する請求項の1項又は請求項(1)の前文に係るオーブン(1)。
請求項8
−分離手段(2)によって切り離されている第1のチャンバ(3)と第2のチャンバ(4)、−製品を入口(10)から出口(12)へこれらのチャンバ(3、4)を通して案内するコンベヤー手段(7)、−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度をそれぞれ個別に制御する温度制御手段(15-19、22-66、27、28)、並びに、−分離手段(2)に設けられた通路(2.1)であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバ(3)から第二のチャンバ(4)へ向かう通路(2.1)、を有するオーブンの運転方法において、流体流(26)を通路(2.1)の近傍に注入して第1のチャンバ(3)と第2のチャンバ(4)の間での流体漏れを低減する、オーブンの運転方法。
請求項9
−分離手段(2)によって切り離されている第1のチャンバ(3)と第2のチャンバ(4)、−製品を入口(10)から出口(12)へこれらのチャンバ(3、4)を通して案内するコンベヤー手段(7)、−流体を使用して各チャンバ内の温度及び/又は湿度をそれぞれ個別に制御する温度制御手段(15-19、22-66、27、28)、並びに、−分離手段(2)に設けられた通路(2.1)であってそれを通して前記コンベヤー手段が第一のチャンバ(3)から第二のチャンバ(4)へ向かう通路(2.1)、を有するオーブンの運転方法において、少なくとも1つのチャンバ内のプロセスパラメータを調節するために、第1のチャンバ(3)及び第2のチャンバ(4)の間での漏れを制御することを特徴とするオーブン(1)の運転方法。
請求項10
漏れ(33)の方向が第1のチャンバから第2のチャンバ(3、4)へ、及び/又はより高い圧力を持っているチャンバ(+ +)からより低い圧力(- -)のチャンバへ、又は、その逆である、ことを特徴とする請求項9に係る方法。
請求項11
周囲の空気が第1の及び/又は第2のチャンバに導入されることを特徴とする請求項9又は10に係る方法。
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引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
法律状态:
2011-12-23| RD04| Notification of resignation of power of attorney|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111222 |
优先权:
申请号 | 申请日 | 专利标题
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